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  北京6月29日电(记者 乌梦达、赵旭)“100年,中国‘芯'”。在庆祝中国共产党建党百年之际,北京航空航天大学科研事情者在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下这几个字。这个厚度相当于一张通俗打印纸的十万分之一。

  磁性芯片生产历程中,需将纳米磁性薄膜平均铺在晶圆(制作硅半导体集成电路所用的衬底)上。确保所有晶圆完全“躺平”有多灾?北航集成电路学院工艺与装备系西席张学莹示意,其相当于在北京的海淀区地面上平均铺满5层厚的小米粒,且须完全平整,“因此,检测薄膜的平整度尤为要害。”

  张学莹先容,科研职员行使检测仪器,通过细小的磁性针尖在薄膜上写字,若字的颜色对比度一致、字迹清晰,则解释薄膜有优越的平均性。完成平整度检测后,将纳米薄膜制成器件,封装后形成芯片。

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  该检测仪器,正是由北航集成电路学院科研团队研发的晶圆级磁光克尔测试仪。

  北航集成电路学院工艺与装备系主任王新河说,磁性芯片可作为高可靠的信息存储模块和高迅速的磁信号传感模块,应用于飞机、卫星的控制系统,以及手机电子罗盘、汽车自动驾驶等领域。而磁性芯片生产历程中的磁性薄膜检测这一要害手艺,属于我国耐久被“卡脖子”的手艺。

  “对比外洋同类装备,这台仪器在测试精度和速率等方面举行了手艺刷新,实现了自主创新突破。”王新河说。

  据领会,该仪器现已应用于科研领域,且预计于今年10月在产业领域投入商用。

  早在1993年,中国科学院科研团队就用10个原子摆出“中国”字样,标志着我国可自主实现原子操作。现在,用于誊写“100年,中国‘芯’”的晶圆级磁光克尔测试仪,为具有百亿元市场规模的磁性芯片产业提供装备支持。

  从“中国”,到“100年,中国‘芯’”,背后的科研突破成为我国高科技自主创新能力不停提升、国家科技气力连续增强的一个缩影。

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